Máy bơm chân không Turbovac 90 I/IX (TURBOVAC) được sử dụng trong các ứng dụng đòi hỏi phải có chân không cao hoặc siêu cao, ví dụ như trong nghiên cứu, phát triển hoặc trong các lĩnh vực công nghiệp như ngành công nghiệp bán dẫn, công nghệ phân tích hoặc công nghệ phủ
Nguyên tắc hoạt động về nguyên tắc, bơm Turbomolecular là một tuabin nhanh chóng quay vòng trong một vỏ nơi các giai đoạn rôto của bản vẽ mặt cắt tuabin của một bơm Turbomocular (Turbovac I) được trang bị một số lưỡi cánh quạt
Nằm giữa các cánh quạt quay là các đĩa stato đứng yên với các lưỡi được sắp xếp theo hướng ngược lại
Bằng cách chuyển động lượng từ các cánh quạt quay sang các phân tử khí chuyển động nhiệt ban đầu của chúng được thay đổi theo chuyển động hướng từ mặt bích đầu vào của bơm theo hướng trục về phía mặt bích Forevacuum
Trong phạm vi dòng phân tử (tức là ở áp suất dưới 10-3 mbar (0,75 x 10-3 Torr)), đường dẫn tự do trung bình của các phân tử khí lớn hơn thì khoảng cách giữa các cánh quạt và lưỡi stato (thường là một vài phần mười của một milimet)
Tương ứng các phân tử chủ yếu va chạm với các cánh quạt dày đặc quang học, dẫn đến một hành động bơm hiệu quả cao
Trong phạm vi dòng chảy của lớp (nghĩa là ở áp suất trên 10-1 mbar (0,75 x 10-1 Torr)), ảnh hưởng của rôto bị suy yếu do các va chạm thường xuyên giữa các phân tử
Vì lý do này, một máy bơm phân tử không có khả năng bơm khí ở áp suất khí quyển
Rôto mang Leybold cung cấp các hệ thống mang rôto khác nhau
Một loại ổ trục rôto cơ học hoàn toàn cổ điển (turbovac) hoặc ổ trục rôto từ (turbovac mag) và cũng là một ổ bi lai (Turbovac I / IX) trong đó ổ trục ở phía trước Về phía chân không cao được thực hiện bằng cách mang từ tính không mặc
Điển hình cho tất cả các loại ổ trục này là chúng không yêu cầu bất kỳ loại dầu bôi trơn nào trong trường hợp như Standstill của máy bơm có thể khuếch tán trở lại buồng chân không do không có bất kỳ hành động bơm nào
Lái xe Điện tử/Bộ điều khiển lái xe và giám sát bơm Turbomolecular yêu cầu bộ chuyển đổi tần số điện tử (biến tần)
Bộ chuyển đổi tần số cung cấp điện áp lái xe và tần số đầu ra cho động cơ và cũng tự động theo dõi hệ thống
Tối ưu chạy lên của cánh quạt bơm được đạt được bằng cách tăng điện áp và tần số tăng đều đặn
Sau khi đạt được tốc độ danh nghĩa, dòng khởi động bị giảm theo cách kiểm soát đến mức cần thiết cho hoạt động bình thường
Bộ chuyển đổi tần số và động cơ của Turbovac đã được thiết kế với tốc độ giảm tối thiểu ngay cả ở áp suất lượng cao
Điều này đảm bảo thông lượng khí cao nhất có thể cũng trong phạm vi chuyển tiếp từ dòng phân tử đến lưu lượng nhớt
Tùy thuộc vào hệ thống nhất định và điều kiện cài đặt, đơn vị điều khiển có thể được bổ sung bởi một loạt các phụ kiện tùy chọn toàn diện tạo điều kiện tích hợp dễ dàng trong các cài đặt hiện có
Bơm FOREVACUUM Vì máy bơm Turbomolecular không có khả năng nén trực tiếp vào áp suất khí quyển, hoạt động của chúng sẽ luôn yêu cầu bơm FOREVACUUM được đánh giá đủ
Đối với sự sắp xếp rôto cổ điển với các cánh quạt, thường máy bơm cánh quay hai giai đoạn (Trivac) sẽ phù hợp
Trong một số trường hợp, máy bơm chân không cánh quạt quay một giai đoạn (SOGEVAC BI) hoặc bơm chân không cuộn (Scrollvac)
Trong trường hợp của biến thể phạm vi rộng trong đó rôto được trang bị một giai đoạn nén bổ sung (giai đoạn ghép) cũng Divac) có thể được sử dụng
& nbsp; Số lượng đặc trưng Tốc độ bơm (tốc độ dòng khối lượng) Tốc độ bơm S S S S S S S S S S S S S S S S S S S S S S S S S S S S S S S S S S S S S S S S Sh S S S S S S S S S S S S S S S S S S S S S S
Nó phụ thuộc vào loại khí nên vì lý do này, tốc độ bơm danh nghĩa, tức là tốc độ bơm tối đa có thể đạt được của bơm thường được nêu trong không khí, tương ứng là nitơ
Trong lĩnh vực kỹ thuật chân không cao, người ta thường đặt tốc độ bơm trong đơn vị đo [L/s]
Tốc độ bơm là một hàm phi tuyến của áp suất đầu vào s = s (p1)
Thông lượng khí thông lượng khí thông lượng GAS Q Q, Đơn vị đo [Mbar x L/s] được liên kết với tốc độ bơm thông qua áp suất đầu vào
Q = q (p1) = p1 * s (p1)
Nén nén Kiêu Kiêu được định nghĩa là tỷ lệ giữa áp suất ở phía trước của bơm Turbomocular và áp suất ở phía chân không cao
K = k (pvv) = pvv/phv
Nén phụ thuộc vào loại khí
Áp suất cuối cùng (áp suất cơ sở) Áp lực cuối cùng của một bơm tuabin phân tử có thể được nung ra được xác định thông qua tỷ lệ giữa áp suất FOREVACUUM và tỷ lệ nén đạt được trong buồng thử nghiệm 48 giờ sau khi nướng 24 giờ ( khử khí) của sự sắp xếp đo lường
pult = pfv/k0
Áp lực tối đa có thể đạt được phụ thuộc vào những thứ khác vào độ sạch của thiết bị, loại bơm Forevacuum được sử dụng, các loại con dấu được sử dụng cho mặt bích chân không cao và điều kiện nướng.
| Tốc độ bơm (AR) | 83 L/s |
| Tốc độ bơm (He) | 90 l/s |
| Tốc độ bơm (H₂) | 78 L/s |
| Tốc độ bơm (N₂) | 90 l/s |
Reviews
There are no reviews yet.